根据洁净度的要求，FFU过滤器可为不同等级的高效（HEPA）或初效（ULPA）过滤器，为洁净室提供洁净空气。风机模块除了要克服FFU下部高效过滤器的阻力，还要克服整个循环风所有通道部件的阻力，从而维持设定的运行风速。FFU系统具有设计施工简便，风速调节灵活，洁净区易于变更等特点，因此已成为工业洁净室的流行系统形式之一。

FFU过滤器可的优点:

灵活性大,便于改造;从理论上讲，一时不用的FFU设备，可以拆下来，密封好，妥善保管，留待下次使用。

占领的建筑空间更少;使用FFU省掉了风箱的制作和安装，因为风管在洁净工程中，占掉很大的建设周期，任何一个投资者都希望投资能尽快带来收益，选用FFU成为了一种可能。

室内空气压力大于静室、排除区域回风洁净室的静室污染的可能性。在一个偌大的洁净厂房里可根据需要，分区控制。而且，随着半导体生产工艺的变化，厂房布局必然要作相应的调整，FFU的灵活性使得这样的调整变得轻松，而且不会带来二次投资。

减少运行成本。虽然在选用FFU时，初期投资要比使用风管通风高，但在它后期运行中，突出的表现出节能、免维护等特点。循环运用减少40％的运行成本。